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- 產(chǎn)品描述
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- 商品名稱: 雙料室氣相沉積實驗爐
應(yīng)用領(lǐng)域：硅負(fù)極氣氣預(yù)鎂化實驗
工藝描述：雙料室裝料、歸中反應(yīng)、氣氣預(yù)鎂化型 號
裝料尺寸
裝載量
工作溫度
極限溫度
真空度
總功率
氣氛類別
工藝時長
設(shè)備重量
MGB20-60HH
Φ200 * 600
0.04M3
1350℃
1600℃
0.1-2.5Pa
90KW
Ar/N2
24H
3T
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