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    • 產(chǎn)品描述
      • 商品名稱: 氧化亞硅連續(xù)氣相沉積真空爐

      應用領域:

      氧化亞硅連續(xù)量產(chǎn)

      工藝描述:

      連續(xù)進料、出料,硅及二氧化硅歸中 反應、氣相沉積提純,自動研磨刮料、 爐外收集。

      型 號

      裝料尺寸

      裝載量

      工作溫度

      極限溫度

      真空度

      總功率

      氣氛類別

      工藝時長

      設備重量

      MGB140-130VH

      Φ 1400X1300

      2.0M3

      1350℃

      1600℃

      0.5-2.5Pa

      500KW

      Ar/N2

      連續(xù),單爐   24H

      28T

    關鍵詞:

    產(chǎn)品咨詢

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