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- 產(chǎn)品描述
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- 商品名稱: 氧化亞硅（預(yù)鎂）氣相沉積爐
應(yīng)用領(lǐng)域：
氧化亞硅前驅(qū)體預(yù)鎂
工藝特點：
分層放料，三溫區(qū)控溫（受熱均勻，成品一致性好）氣相倉及放料坩堝為高溫合金，使用壽命長，可連續(xù)使用2年以上；
有強冷裝置，可快速冷卻；能耗低，可達10kWh/kg；
全工藝一鍵啟動，自動化程度高。
型 號
裝載量
極限溫度
真空度
總功率
氣氛類別
設(shè)備重量
MGB50-50-120HH3
120KG
第一溫區(qū)：1500℃
第二溫區(qū)：1350℃
1~2Pa
配置200KW（實際使用120KW)
Ar/N2
13T
關(guān)鍵詞：
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